今まで見えなかった細孔内周面のビジュアル化が可能に！
内径・真円度・キズ等を非接触同時測定
現在、航空宇宙機器の燃料噴射ノズル、医療機器の中空部品、分析装置の精密ノズル、流体軸受など、精密細孔加工部品が多用されており、その内周面評価の重要性が急増しています。
比較的大きな内径の部品については、それぞれ内径測定機、真円度測定機、粗さ・形状測定機にて計測して評価することも可能ですが、細孔につきましては、部品を半分に割らないと計測できませんでした。
当社では、近赤外光の光干渉を利用し、「今まで見えなかった細孔内周面のビジュアル化」を可能とした内周面測定機 NMH-02 を開発しました。
当社の世界最小Φ0.9mm モーター、当社特許の透光性基準パイプ方式を適用した特殊プローブと、同じく当社特許の傾斜補正演算アルゴリズム搭載により、①測定最小内径Φ1.1mm ② 内径/真円度/形状の同時測定 ③繰り返し測定精度σ＝0.2μm ④セッティングフリー測定を実現した、新しいコンセプトの測定機です。まさに、極小径モーター技術と、光通信技術を持つ当社ならではの製品と言えます。
細孔の内周面観察・測定が可能であることはもちろんのこと、今まで、専用測定機を使って別々に測定しなくてはいけなかった内径、真円度、粗さ・形状を同時に計測できることから、約30分/ワーク⇒約30秒/ワークと大幅に計測時間を短縮でき、お客様の測定スループット改善に大きく貢献致します。
特徴
- ・最小内径Φ1.1mm より、細孔の内径・真円度が測定可能
- ・繰返し測定精度0.2μm の高精度計測
- ・セッティングフリー測定: 独自の演算処理によりワークの傾斜を自動補正
- ・測定時間: 従来測定機30 分 → 本測定機30 秒（内径/真円度/形状同時測定）
カタログ
導入イメージ
プローブ概要
- ・測定最小Φ1.1mm~世界最小Φ0.9mmモーター内蔵
- ・繰返し測定精度：0.2μm透光性基準パイプにより光学系のズレ、ゆらぎをキャンセル
- ・セッティングフリー測定ワーク傾斜/偏心を演算処理で自動補正
測定事例
※表示値は0.1μm
リングゲージ
NMH-02
（中央位置）
動圧軸受
NMH-02
リングゲージ
NMH-02
関連技術文献一覧
- 1) 工業用ＯＣＴ，淺田，光技術動向調査報告書（一般財団法人光産業技術振興協会発行），FY2016-002-1第4.4.1章(2017年3月），PP237-242
- 2) 直径1.5ｍｍで実現する内視鏡型デジタル顕微鏡（微細OCTプローブでナノメートル精度のデジタル化技術），古川他，Synthesiology，第11巻第1号（2018），pp.23-32．
- 3) 3D内視鏡光プローブ式精密測定機の開発（石英パイプ基準式内周面測定精度の評価），淺田他，日本機械学会論文集，Vol.84，No.857(2018），全12ページ
光干渉式内周面精密測定機 ムービー
